悬浮提拉晶体生长炉
关键字：
提拉法
型号：
SKJ-LCZ
产品概述：
SKJ-LCZ是一款特殊的提拉法（CZ）晶体生长炉（采用悬浮熔炼对金属样品熔化，最高温度可达2000℃）。此系统采用组成：高频感应加热电源，高真空腔体，水冷铜坩埚（悬浮熔炼）和精密提拉机构。悬浮熔炼避免了坩埚的污染，可得到高纯度的金属（合金）单晶。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
视频

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      安装操作视频
设备结构

·40KW感应加热电源，用于悬浮熔炼


·特殊设计水冷铜坩埚，可熔炼60g样品

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·高真空腔体，真空度可达10-6torr(采用分子泵系统）

 

·精密可旋转（籽晶杆可旋转）提拉机构，提拉速度为0.1mm/h-24mm/h
感应加热电源

·最大功率：40KW

 

·频率 ：80-200KHz

 

·电流：10-100A

 

·电压:  380V +/-10% , 三相, 50/60Hz

 

·水冷却：水压 ≧0.2MPa  水流量:  ≧10L/min
水冷铜坩埚

·坩埚尺寸: Φ35mm* 60mm

 

·熔炼量: 最大 60g 

 

·需冷却水流量：  58L/min
提拉机构

·提拉速度:  0.1-24mm/h 

 

·籽晶杆转速：  0.03-50r/min

 

·最大提拉行程: 250 mm

 

·可快速手动提拉

 

·提拉杆内部有水冷却
真空腔体&真空泵

·采用SS304不锈钢腔体，带有水冷夹层

 

·腔体尺寸: Φ400x 40 D mm

 

·石英窗口: Φ300mm

 

·真空度:  10-6 Torr （采用分子泵系统）

 

·真空泵: 分子泵体统，抽气速率700L/S
循环水冷机

·设备所需冷却水流量≧110L/min

 

·可在本公司选购循环水冷机

合金成分均匀性工艺研究.png

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