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1700℃质子流量混气高真空管式炉 （配50mm或80mm氧化铝管，真空10^-4Torr，混气2-4路可选）
- 关键字：
- CVD、单温区、二路质子
- 型号：
- GSL-1700X-HVC
- 产品概述：
- GSL-1700X-HVC是一款CE认证的二通道高真空CVD系统，它是由二路质子混气系统和高真空机组组成，其最高工作温度可达1600℃，极限真空度可达 to 10^-5 torr。混气系统可以对两种气体进行精确的混气，然后导入到管式炉内部。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
| GSL-1700X 系列管式炉
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壳体 | · 控温仪表操作视频 热电偶: B 型，已经安装在炉内 | 真空法兰 | · 一对不锈钢真空密封法兰已经安装 · 法兰上带有一机械压力表 · 两个精密针阀 · 一个KF-25连接器 和KF-25 转 KF-40 抽气接口 一个1/4"卡套接头 | 外形尺寸 | 550 x 380 x 520mm |
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| 高真空机组
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功率 | 100~110W | 工作电压 | AC 208-240V单相, 50/60Hz | 外形尺寸 | 600(L) x 600(W) x 700(H), mm | 壳体 | · 壳体尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm · 最大承载量: 600 Lbs on top · 分子泵控制面板: LCD 数字显示 内装有一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany: | 控制面板 | · 一键操作：按下"start" 键后，隔膜泵和涡轮分子泵将会启动（隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后，分子泵自动启动） · 系统控制旋转速率：根据腔体内的真空度，系统自动控制旋片泵的旋转速率 
| 抽气速率 | · N2 33 L/s · He 39 L/s (2340L/minute) H2 32 L/s | 工作范围 | 1000 mbar to <1E-7 mbar | 极限 | <1E-8 mbar (without any leaking ) |
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| 质量流量控制器
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壳体 | · 采用 316不锈钢制作 · 混气箱尺寸: Φ80X120mm · 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm MFC控制面板 (Click to enlarge)，可根据客户要求定制
 | 功率 | 18W | 工作电压 | AC 208-240V, 单相, 50/60Hz |
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| 质保期
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一年质保期，相关耗材除外，如炉管，密封圈，等易耗件
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| 质量认证
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· 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证 
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公司环境
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