近距离蒸发镀膜炉
关键字:
CSS,短波灯管,快速升降温,RTP
型号:
OTF-1200X-RTP-II
产品概述:
OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸发管式炉,专门针对于用PVD或CSS法来制作薄膜。此款管式炉炉管直径为11" OD,炉管内载样盘为3" 的圆形。加热元件为两组红外灯管,分别安装在腔体的顶端和底部,其升温速率高达20ºC/S 。温控系统为PID30段程序化控制,控温精度为+/-1ºC。仪器面板上带有RS485接口,若仪表内配有控温软件,就可将升温程序和曲线导出。
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真空腔体

腔体为一高纯石英管

尺寸:  11" OD x 10.8"ID x 9" H 

真空法兰

真空法兰材质为316不锈钢制作

顶部法兰上有一KF25接口,可以与真空泵相连接,另外安装有两个1/4" 软管接头的出气口

底部法兰上有一KF25接口,可以与真空泵相连接,另外安装有两个1/4" 软管接头的进气口

法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封,通过机械泵其腔体内真空度可达10-2 torr,用分子泵其真空度可达到10-5 torr

两个法兰都可以通过手动操作进行上下移动

一个数字式真空显示计安装在法兰顶部,可精确测量腔体内真空度


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混气系统

可以选择两路的混气系统于此款管式炉搭配使用(本公司生产多路浮子和多路质子混气系统)


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加热元件和载样台

由两组IR红外灯管进行加热

额定功率800 W    总功率:1600W 

为了减小热辐射和达到快速冷却的效果,加热元件被嵌在水冷机构上

一个3"的基片载样台安装腔体顶部

紧贴顶部加热元件上安装有一氮化铝基片(3"Dia x0.5mm Thick ),使其仪器使用时样品基片上的温度更加均匀

3"的石墨坩埚可以放在底部加热元件上来盛装蒸发料


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热电偶

两个K型热电偶分别安装在上下法兰上

温控系统

两个控温系统都为PID30段程序化控温

可以选购PC控温软件,将温度程序设置和温度曲线导入电脑中


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工作温度

两个加热区域单独工作的最高温度: <= 650ºC

两个加热区域最大温差: <= 350 ºC

加热和冷却速率

加热速率:   > 8 ºC /S

冷却速率:   > 10  ºC /S  ( 600 - 100oC)

电源

208 - 240VAC, 单相, (需20A的空气开关)

真空系统(选配)

可在本公司选购真空泵和水冷系统


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质保期     

一年质保期  (不包括炉管、密封圈和加热元件损耗件 )

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