实验设备及参数：氩气氛围，OTF-1200X-50S-PE-SL、OTF-1200X-50-4CLV-PE（管径80，PE最大功率500W）、VRD-8、VRD-16、VRD-24、VRD-48，质子流量计、OTF-1200X-50S-PE-SL                                         进气速率0-300sccm，OTF-1200X-50-4CLV-PE进气速率0-1000sccm。

实验目的：通过控制进气量，测试不同型号泵的抽速对PECVD起辉效果的影响。通过控制进气量，测试管径、最大功率对PECVD起辉效果影响

实验结论：

（1）对于使用同一台机械泵，进气端靠近线圈比进气端远离线圈时所需起辉功率更小；

（2）在可起辉的真空范围内，起辉功率随着真空度升高而降低，但总体相差不大；

（3）相对于OTF-1200X-50S-PE-SL设备，随着进气量增大，系统真空度逐渐降低，需要更大抽速的机械泵维持系统的高真空度；

使用VRD-8和VRD-16，进气端靠近线圈时，进气量≦20sccm，辉光可充满全管，而进气端远离线圈时，需要进气量≦3sccm；

使用VRD-24进气端靠近线圈时，进气量≦50sccm，辉光可充满全管，而进气端远离线圈时，需要进气量≦5sccm；

使用VRD-48进气端靠近线圈时，进气量≦100sccm，辉光可充满全管，而进气端远离线圈时，需要进气量≦20sccm；

（4）对比OTF-1200X-50S-PE-SL与OTF-1200X-50-4CLV-PE：

相同进气速率下（尤其是高进气速率时），管径越大越易起辉；

相同进气速率下（尤其是高进气速率时），起辉功率越大辉光范围越长；

（5）在PECVD使用期间，由于真空泵抽速影响会对浮子流量计产生影响，因此在进行边进气边抽真空的实验中要使用质子流量计控制进气量；

（6）进气量保持不变，调节进气针阀对系统真空度的影响：初期朝关闭方向旋紧针阀对系统真空度几乎无任何影响，在针阀即将关闭的最后一至半圈，旋紧针阀，系统真空度急剧增大。

实验步骤：

（1）按图示连接设备

进气端远离线圈图示                                  进气端靠近线圈图示

（2）使用质子流量计控制进气量为300sccm，使用VRD-8最大抽速对整个系统进行抽真空，待系统稳定后记下泵口出小蓝表真空度，打开射频电源，测试系统可起辉的最小功率，待起辉后，将功率增大至300W，观察辉光变化并记录；

（3）降低进气量（200、100、50、20、10、5、3、1、0），重复上述实验；

（4）实验结束后，调换进气口与泵抽气口位置，重复步骤（1）和（2）。

（5）更换机械泵（VRD-16、VRD-24、VRD-48），重复步骤（1）、（2）和（3）。

（6）使用VRD-48，更换OTF-1200X-50-4CLV-PE（80管径）设备，进气量（1000，,800、500、300、200、100、50、20、10、5、3、1、0）重复上述实验。

实验结果：

图 1.泵的抽速对辉光长度的影响（进气端靠近线圈）      图 2.泵的抽速对辉光长度的影响（进气端原理线圈）

图 3.真空度(Torr)与流量的关系                           图 4.管径对辉光长度影响

特别声明：

1. 以上所有实验仅为初步探究，仅供参考。由于我们水平有限，错误疏漏之处欢迎指出，我们非常期待您的建议。

2. 欢迎您提出其他实验思路，我们来验证。

3. 以上实验案例及数据只针对j9九游会设备，不具有普遍性。

4. 因为涉及保密问题，以上数据仅为部分数据，欢迎老师与我们联系，我们非常期待和您共同探讨设备的应用技术。