实验室小课堂-如何根据应用选择本公司溅射镀膜仪或蒸镀仪

发布时间：2020-07-17

	应用	设备	特点
1	表面镀贵金属用于薄膜研究（<2”）	3靶等离子溅射镀膜仪VTC-16-3HD	同一腔室中3靶头用于贵金属的溅射镀膜
2	表面镀各种金属用于薄膜研究（<2”）	小型等离子磁控溅射镀膜仪VTC-16-SM	磁控溅射镀膜 ‚最大溅射电流可达150mA，ƒ可用于溅射各种轻金属如Al, Sn, Zn 等
3	表面镀绝大多数的金属或无机非金属材料薄膜（<2”）	精密温控高真空蒸发镀膜仪GSL-1700X-SPC-2	高真空蒸发镀膜仪 ‚蒸镀温度从200-1500℃（或选配B型热电偶，蒸镀温度可从1200-1700℃）
4	表面镀氧化物薄膜（<2”）	1英寸或2英寸300W射频等离子磁控溅射仪VTC-2RF	低成本 ‚射频电源
5	各种材料表面进行光学涂层（多晶）（<4”）	超高真空4蒸发舟蒸发镀膜仪GSL-1800-ZF4	分子泵高真空 ‚4个蒸镀加热舟
6	金属及无机非金属氧化物薄膜的外延生长（<4”）	DC/RF双靶头高真空等离子磁控溅射镀膜仪VTC-600-2HD	配备有直流以及射频电源，分子泵 ‚可用于各种材料薄膜的外延生长 ƒ同时配备测厚仪实时监控薄膜厚度